Equipment and Accessories SECTION 27


 EMS 850WM Large Chamber Critical Point Dryer


The EMS 850WM is compact, bench-top instrument designed to critical point dry a complete 150mm/6" wafer. A convenient wafer holder allows rapid transfer and ensures that pre-drying does not occur.


Mature Barley Root Features


 170mm diameter chamber - optimized for wafer/MEMS drying


 Vertical chamber with top-loading and bot- tom draining - ensures specimens do not become uncovered during drying


 Thermoelectric heating - accurate temper- ature control


 Fine control needle valve pressure let down - precise control


 Temperature monitoring and control with thermal cut-out protection


 Pressure monitoring with safety cut-out for over pressure


 Three-year warranty


The EMS 850WM has built-in heating and water cooling using the EMS 4860 Recirculating Heater/Chiller. This combination will give temperature control of +5°C cooling and +35°C during heating. This ensures the critical point is accurately obtained, avoiding excess pressures or temperatures, or the need to rely on pressure relief valves to control pressure during the heating cycle.


The EMS 850WM has a vertical chamber which allows top-loading of specimens. A viewing port is fitted in the top plate for specimen observation. The specimen exchange mechanism is simple to use and ensures the specimen remains under liquid during loading.


Specimen handling


100mm or 150mm diameter wafers are held in a PTFE holding tray. The tray including wafer is immersed in acetone in order to remove all moisture from the specimen. After dehydration, the wafer and holder are transferred into the pre-cooled specimen chamber using the wafer transfer device. On completion of the critical point drying process, the wafer is removed from the chamber using the transfer device prior to further processing.


Ordering Information 91090-WM


Requirements EMS 4860


EMS 3102


Critical point dried transverse fracture of a mature barley (Hordeum vulgare) root, demonstrating central stele and surrounding cortical cells. Root hairs (Pili) are also obvious.


Aphid Critical point dried aphid on a leaf surface.


EMS 850WM Large Chamber Critical Point Dryer


Recirculating Heater/Chiller (for cooling chamber) Carbon Dioxide bottle heating system


each Bamboo Stem


each each


Transverse fracture of the stem of young bamboo (Bambusa sp), demonstrating xylem and phloem bundles and heavily thickened (lignified) epidermal and hypodermal cells.


Electron Microscopy Sciences In PA: (215) 412-8400 • Toll-Free (800) 523-5874 Fax (215) 412-8450 or 8452 • email: sgkcck@aol.com or stacie@ems-secure.com • www.emsdiasum.com


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