Equipment and Accessories SECTION 27  EMS300R T (continued)


Options and Accessories 6404


6405 6406


6407 6408 Spare quartz crystal


Sputter targets


Film thickness monitor (FTM) attachment. Including oscillator, feed-through, quartz crystal holder and one C5460 quartz crystal


Extended height vacuum chamber (214 mm in height - the standard chamber is 127 mm high). For increased source to specimen distance and for coating larger specimens


Vacuum spigot allows more convenient connection of the vacuum hose to the rear of the Q300R T when bench depth is limited


NB: The EMS300R T is fitted as standard with three 0.3mm thick gold (Au) targets. Other optional targets are available (three required):


each each


each each


A lockable emergency stop (e-stop) switch which can be mounted on top of the system in a position easily accessible for the operator. It is provided with a key to release the knob after activation. Note: the addition of the e-stop does not inhibit or replace the normal On/Off switch function. The e-stop can be retrofitted to existing systems


6409 6410


6411 6412 6413


Coating shields. Shields can be fitted to protect large surfaces from coating deposition, easily removable for ease of cleaning


Two-year spares kit for EMS300R T. Includes: 3 x 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) target, standard glass chamber assembly, O-rings etc.


6” Wafer Specimen Stage: A flat adjustable stage capable of accepting 6” or 101.6 mm wafers


4” Wafer Stage : A flat 4 ½” 102mm flat, drop in wafer stage which accepts 2, 3, 4 “ Wafers


Additional Standard Glass Cylinder Assembly each each


each each each


each


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57mm Ø x 0.1mm Gold 57mm Ø x 0.2mm Gold 57mm Ø x 0.3mm Gold


57mm Ø x 0.1mm Gold/Palladium (80/20%) 57mm Ø x 0.2mm Gold/Palladium (80/20%) 57mm Ø x 0.3mm Gold/Palladium (80/20%) 57mm Ø x 0.1mm Platinum 57mm Ø x 0.2mm Platinum 57mm Ø x 0.3mm Platinum 57mm Ø x 0.1mm Nickel 57mm Ø x 0.1mm Silver 57mm Ø x 0.1mm Palladium 57mm Ø x 0.1mm Copper


57mm Ø x 0.1mm Platinum/Palladium (80/20%) 57mm Ø x 0.3mm Platinum/Palladium (80/20%)


each each each each each each each each each each each each each each each


Electron Microscopy Sciences In PA: (215) 412-8400 • Toll-Free (800) 523-5874 Fax (215) 412-8450 or 8452 • email: sgkcck@aol.com or stacie@ems-secure.com • www.emsdiasum.com


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