CONTROL & MEASUREMENT


Methoden die Hot-Spot-Temperatur auf Basis der Öltemperatur, messen sie aber nicht genau. Dies kann jedoch zu Abweichungen von der tatsächlichen Hot-Spot-Temperatur von bis zu 20 °C führen. Darüber hinaus können Messungen des Oberflächen- und Bodenöls eine erhebliche Zeitverzögerung in Bezug auf die tatsächlichen Wicklungs- temperaturen verursachen. Da sich die Alterungsrate eines Transformators pro 6 °C über dem Temperatursollwert verdoppelt, können ungenaue Temperaturmessungen zu Transformatorschäden und zum Verlust der Lebensdauer des Transformators führen.


Die faseroptische Überwachung löst diese Probleme, indem hierbei die Temperaturen direkt in den Wicklungen gemessen werden.


Advanced Energy ThermAsset®2 Controller


Luxtron FOT-Messsysteme nutzen faseroptische Sonden mit Phosphorsensortechnologie und kombinieren Hochleistungskonverter mit einer fortschrittlichen Lichtquelle, einem proprietären Softwarealgorithmus und rauscharmen Verstärkungsschaltungen.


Luxtrons® M-1100 ist die neueste FOT- Konverterplattform, die faseroptische Temperaturmessung für Halbleiter-Ätz- und Beschichtungsanwendungen bietet.


Das Präzisionsinstrument bietet Temperaturmessungen im Bereich von -200 °C (dem Beginn des kryogenen Bereichs) bis zu Temperaturen von 450 °C mit einer


Hier leistete Advanced Energy vor mehr als 40 Jahren Pionierarbeit auf dem Gebiet der faseroptischen Wicklungstemperaturmessung mit seiner Luxtron-Produktreihe von Fluoroptic®-Thermometrie-Sensoren (FOT) und ist heute ein führender Anbieter von direkten Echtzeit-Hotspot- Überwachungs- und -Steuerungssystemen für die Energieversorgungsbranche. Die zuverlässigen, präzisen faseroptischen Direktmesssysteme des Unternehmens - die immun gegen Hochspannung, RFI, EMI sowie Trafo-Öl und SF6-Gas sind - erkennen schnell und zuverlässig Hotspots und reagieren darauf, indem sie Alarme und Relais auslösen, um wertvolle Transformatoranlagen effizient zu schützen.


Ein Beispiel hierfür ist der ThermAsset®2-Regler von AE, der Wicklungsüberhitzungen mit bis zu 8 Kanälen in Echtzeit messen und -bei Bedarf- das Transformator-Kühlsystem aktivieren kann. Dies ermöglicht einen optimalen Transformatorbetrieb bei sicherer Lastkapazität sogar während Überlast-Bedingungen.


Halbleiterfertigung


Advanced Energy ist auch ein anerkannter Spezialist für Prozesse in der Halbleiterfertigung und bietet hochpräzise Lösungen für die Leistungsabgabe, Frequenzabstimmung und Multi-Level- Pulsing für die fortschrittliche Plasmakontrolle bei kritischen Ätz-, Abscheidungs-, Prüf-, Implantations- und Glühprozessen.


Die Optimierung von Ertrag und Durchsatz erfordert eine hochpräzise Temperaturmessung und -regelung, und auch hier gewinnen faseroptische FOT-Technologien zunehmend an Bedeutung. Ein Beispiel dafür ist die Luxtron Produktreihe mit faseroptischer Thermografie-Technologie von AE, die zur Unterstützung einer präzisen Prozesssteuerung für Kunden- innovationen entwickelt wurde.


branchenführenden Genauigkeit von +/- 0,1 °C und einer Stabilität von +/- 0,05 °C. Die Integration von fünf Kanälen erleichtert den Anschluss mehrerer Fühler mit einem einzigen Konverter, während flexible Kommunikationsausgänge die digitale Überwachung, Statusüberwachung und Systemintegration


vereinfachen. Darüber hinaus ist der Luxtron M-1100 das erste Modell, das sowohl analoge als auch EtherCAT- Kommunikationsschnittstellen bietet.


Der neue Konverter vereinfacht die


Implementierung, da er an der Seite des zu überwachenden Systems direkt an der Wand montiert werden kann. Die Benutzerfreundlichkeit wird durch die Unterstützung der globalen Engineering-Teams sowie der Applikations- ingenieure von Advanced Energy weiter verbessert, die eng mit OEM-Partnern zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sonden für modernste Anwendungen zu entwickeln.


Für die Temperaturüberwachung von elektrostatischen Spannvorrichtungen, Kammern und anderen Komponenten in Ätzanlagen und Wafer Fabriken hat AE eine OEM-Modulserie entwickelt, die faseroptische Temperaturmessungen zwischen -100 und 330 ºC ermöglicht, speziell für Halbleiter-OEMs.


Die komplette OEM-Lösung der Luxtron® m920-Serie besteht aus einem Elektronikmodul mit zwei Platinen und Sonden. Die Hauptplatine enthält faseroptische Temperaturmesskanäle, digitale Ausgänge (RS232 ASCII und RS485 Modbus) und den Stromanschluss. Die analoge Ausgangskarte liefert 0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA Ausgangsleistung. Ein optionales Metallgehäuse (s. Abbildung) ist hierfür ebenfalls erhältlich.


Contact: www.advancedenergy.com info@aei.com


SEPTEMBER/OCTOBER 2023 www.reviewonline.uk.com 13


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