CONTROL & MEASUREMENT


the cryogenic range), to ‘hot chuck’ temperatures of 450 °C with industry- leading accuracy of +/- 0.1 °C and stability of +/- 0.05 °C. Integration of five channels facilitates connection to multiple probes using a single converter, while flexible communication outputs simplify digital monitoring, status monitoring, and system integration. In addition, the Luxtron M-1100 is the first model to offer both analog and EtherCAT communication interfaces.


The Luxtron® M-1100 is the latest FOT converter platform offering fiber optic temperature sensing for semiconductor manufacturing etch and deposition applications.


This instrument provides temperature measurements from -200 °C (the start of


The new converter simplifies implementation by enabling wall- mounting on the side of the system being monitored. User experience is further enhanced with support from Advanced Energy’s global engineering and applications teams, which collaborate with OEMs to develop custom probes for leading edge applications.


For wafer semiconductor manufacturing equipment requiring temperature monitoring of electrostatic chucks, chambers, and other devices, AE developed workhorse m920 OEM module series providing fiber optic temperature


sensing between -100 and 330 ºC for semiconductor OEMs.


The complete Luxtron® m920 series OEM solution is built using an electronics module assembly with two boards plus probes. The main board contains fiber optic temperature sensing channels, digital output (RS232 ASCII and RS485 Modbus), and power connection. The analog output board provides 0 to 10 V or 4 to 20 mA output. An optional metal enclosure is also available.


Contact: www.advancedenergy.com info@aei.com


Enquiry No. 12


Faseroptische Temperaturüberwachung für


unternehmenskritische Anwendungen FOT-Temperaturlösungen erhöhen die Leistungsfähigkeit von Transformatoren und gewährleisten Genauigkeit in Halbleiterproduktionsprozessen Leistungstransformatoren


Der beispiellose Anstieg des Stromverbrauchs erfordert einen effizienten Einsatz sowie die lückenlose Überwachung von Hoptspots in Wicklungen der Leistungstransformatoren, die zu den wertvollsten Anlagen eines Versorgungsunternehmens gehören. Da von diesen kostspieligen Anlagen erwartet wird, dass sie über viele Jahre hinweg ununterbrochen in Betrieb sind, stellen sie die Betreiber vor eine Reihe von Herausforderungen, wenn es um den Schutz und die Erhaltung der Nutzungsdauer geht.


Die Überwachung von Transformatorwicklungs-Hotspots ist entscheidend, um Trafos vor Schäden zu bewahren und ihre Nutzungsdauer zu verlängern. Hot Spots, die durch Streufluss aus den Transformatorwicklungen entstehen, sind die Bereiche mit der höchsten Temperatur im Transformator. Übermäßige Hitze kann das Isolierpapier zersetzen, von dem die Lebensdauer des Transformators grundlegend abhängt, und kann hier zu sehr kritischen Ausfällen führen. Daher ist eine genaue Überwachung der Temperaturbedingungen von entscheidender Bedeutung. Raue Umgebungen, hohe Temperaturvarianten und Spannungen sowie RFI und EMI, erschweren hier jedoch eine genaue Messung der Hot-Spot-Wicklungstemperatur.


Leistungstransformatoren von Energieversorgern erfordern genaue Hot-Spot-Messungen


12 Aus diesem Grund simulieren oder berechnen herkömmliche www.reviewonline.uk.com INDUSTRIAL PROCESS REVIEW


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