“Now offering Germanium Reclaim”


TruPlasma RF 1003


Strive for new horizons with this generator.


It has never been easier to run stable film deposition and dry etching processes in semiconductor production: Thanks to its unique CombineLine HF coupler technology with a real 50 Ohm output impedance, the new TruPlasma RF 1003 high-frequency generator by HÜTTINGER provides unrivaled process stability – even the strongest plasma fluctuations won‘t affect it. Why wait? With the TruPlasma RF 1003 you can reach for new horizons. Your reward will be best process results and ultimate productivity at reduced operational cost. TruPlasma RF 1003 – Most Advanced Energy Solutions from Germany. www.huettinger.com


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